ফটোলিথোগ্রাফি কি?
ফোটোলিথোগ্রাফি ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট (আইসি বা চিপস) তৈরির একটি গুরুত্বপূর্ণ প্রক্রিয়া। সহজভাবে বলুন, এটি ফটোমাস্ক এবং ফটোরেসিস্ট ব্যবহার করে একটি সাবস্ট্রেটে একটি সার্কিট প্যাটার্ন অনুলিপি করার প্রক্রিয়া।
সাবস্ট্রেটটি সিলিকন ডাই অক্সাইড অন্তরক স্তর এবং ফটোরেসিস্টের উপর আঁকা হবে। UV আলোর সংস্পর্শে আসার পর ফটোরসিস্টকে ডেভেলপারের সাহায্যে সহজেই দ্রবীভূত করা যেতে পারে, দ্রবীভূত করার পরে এবং খোদাই করার পরে, সার্কিট প্যাটার্নটি সাবস্ট্রেটের উপর ছেড়ে দেওয়া হবে।
ফটোরেসিস্ট কি? কেন 500nm UV তরঙ্গদৈর্ঘ্য ব্লক-অফ করতে হবে?
Photoresist resins, দ্রাবক এবং additives সঙ্গে মিলিত হয়. ফটোরেসিস্টের হালকা সংবেদনশীল পরিসর হল 200nm-500nm। অতএব, অনেক সেমিকন্ডাক্টর ল্যাবরেটরি হলুদ আলো গ্রহণ করবে যা 500nm UV তরঙ্গদৈর্ঘ্যকে ব্লক করে ফটোরেসিস্ট ওভারএক্সপোজড বা অকালে উন্মুক্ত পরিস্থিতিতে প্রতিরোধ করতে।
